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微电子技术与材料研究所产学研合作项目

  • 申请号: 申请公布号:
  • 申请日: 申请公布日: 2017-01-17
  • 申请(专利权)人:BI428550999 专利代理机构:
  • 分类号:

专利介绍

主要产品有: 1、合金类:Mg/Al合金抛光液、W-Mo合金材料抛光液、FA/O硅单晶衬底材料抛光液、纳米硅溶胶、计算机硬盘抛光液 2、硅衬底材料加工类:FA/O清洗剂、半导体材料线切割液、FA/O磨削液、电化学氧化清洗液、倒角液、FA/O螯合剂 3、合成晶体类:FA/O蓝宝石抛光液、FA/O二氧化硅介质抛光液、锑化铟抛光液、FA/O砷化镓单晶材料抛光液、硼酸锂铯晶体抛光液、微晶玻璃抛光液 4、集成电路抛光液:FA/O铜互连线抛光液、超大规模集成电路铝CMP的碱性抛光液、低K介质抛光液、FA/O钨插塞抛光液、FA/O新I型阻挡层抛光液、FA/O新Ⅱ型阻挡层抛光液